De VS oefenden druk uit op Nederland in een succesvolle poging om de export van EUV-machines van ASML naar een Chinese klant te voorkomen.
De export van een 7 nm EUV lithografiemachine van de hand van ASML naar een Chinese klant is niet doorgegaan onder druk van de VS. ASML, gevestigd in Veldhoven niet ver van de Belgische grens, is ’s werelds belangrijkste bouwer van lithografiemachines. Dat zijn erg complexe toestellen die essentieel zijn voor de bouw van microchips. De toestellen gebruiken licht om het minuscule ontwerp van een chip over te brengen op de silicium wafer.
EUV
Concreet wilde ASLM een EUV-machine van 110 miljoen euro verkopen aan een grote Chinese chipfabrikant, naar alle waarschijnlijkheid SMIC. EUV-toestellen zijn de meest geavanceerde lithografiemachines die vandaag bestaan. De grote toestellen gebruiken lasers om onzichtbaar licht in het extreme UV-spectrum te genereren met een golflengte die zo laag is dat ze gebruikt kan worden om chips van 7 nm en kleiner te bouwen. De golflengte van het licht in traditionelere Deep UV-machines is daarvoor te groot wat het overbrengen van nauwkeurige designs moeilijk tot onmogelijk maakt. EUV is een essentiële stap in de verkleining van microchip-nodes, en ASML is de facto de enige bouwer van de nodige hardware. Onder andere TSMC en Samsung gebruiken de machines en ook Intel zal de toestellen in zijn productie integreren in de toekomst.
Bedreiging
De VS willen moderne Westerse technologie uit de handen van de Chinezen houden onder het mom van nationale veiligheid. Ze zijn er dan ook als de dood voor dat de geavanceerde EUV-technologie in handen van een bedrijf als SMIC zou komen. Sinds 2018 startten de VS daarom met een lobbycampagne om de export van het toestel in kwestie tegen te houden.
Volgens Reuters bemoeide de Amerikaanse buitenlandminister Mike Pompeo zich persoonlijk met het dossier, en sprak een hoge ambtenaar de Nederlandse minister-president Mark Rutte erover aan. Die zou Rutte een geclassificeerd rapport hebben overgemaakt met daarin een analyse van de Chinese bedreiging moest het land toegang krijgen tot EUV.
Succesvolle drukcampagne
De Amerikaanse druk heeft gewerkt. ASML verkreeg in eerste instantie een licentie voor de export van het toestel, maar die verviel midden vorig jaar voordat de machine verscheept werd. De licentie raakte vooralsnog niet vernieuwd en het toestel heeft China nog niet bereikt. ASML geeft aan te wachten op een licentievernieuwing terwijl Nederland te kennen geeft niet te communiceren over specifieke gevallen. Deep UV-machines worden wel nog gewoon verkocht.
Nederland kan een exportlicentie weigeren op basis van het verdrag van Wassenaar. Dat handelt over de export van goederen met een potentieel dubbel belang: commercieel maar ook militair. De VS en Nederland zijn allebei lid van het verdrag. Dat de Chinezen maar al te graag aan de slag gaan met ASML-technologie, bleek al uit een eerder spionageschandaal.
Zelf blokkeren
De VS wilden de verkoop in eerste instantie zelf blokkeren maar konden weinig ondernemen. Het land houdt zichzelf het recht voor om bepaalde deals tegen te houden, ook wanneer de betrokken spelers geen Amerikaanse partijen zijn. Voorwaarde is dan dat minstens 25 procent van de betrokken hardware uit Amerikaanse onderdelen bestaat, wat in deze niet het geval bleek. Externe druk was dan ook de enige optie om de verkoop alsnog te blokkeren.
Dat de machine niet verscheept raakte, was al langer bekend. De verregaande impact van de Amerikaanse druk op de beslissing komt nu pas aan het licht. Wat er precies in het betrokken rapport staat in verband met de bedreiging die een verkoop met zich mee kan brengen, blijft geheim. De strategie van druk van de VS past binnen het huidige buitenlandbeleid van president Trump. Die legde de export van Amerikaanse technologie aan de VS al sterk aan banden en maakt het zo moeilijk voor onder andere Huawei om zaken te doen in het Westen.